X荧光分析仪的在物质成分分析上的应用

X射线荧光分析仪器有三种主要类型：实验室用的、采用各种不同激发源的荧光X射线光谱仪和非色散的荧光分析仪；小型便携式的X射线荧光分析仪；工业上的仪器如多光路的X射线量子仪等。

这些仪器和方法分别在工业上如冶金、地质、化工、机械、石油等，农业上，医药卫生和科研如物理、化学、生物、天文学等获得了应用。

分析范围包含了元素周期表中绝大部分元素，超铀元素也有人利用此法进行测定，分析灵敏度随仪器条件及分析对象和待测元素而异。

新型仪器检出限一般达10-5~10-6克/克，某些可以达到10-7~10-9克/克。至于常量分析，由于现代仪器的高度稳定性，X射线荧光分析法的准确度已可与经典的化学分析法相比。

即便对不久前才开展起来的轻元素分析，也是如此此外由于现代仪器的高度自动化，此法还适合于工业上作炉前分析或工艺流程的控制分析，比较其他的工业国家已经在工矿企业里普遍使用，成为一种很有地位的常规分析手段。

除此之外，它可有效地用于测定薄膜的厚度和组成，例如在冶金工业上测定镀层或金属薄片的厚度，在涂料工艺上测定涂层的厚度以及在其它工业部门中用于金属腐蚀、感光材料、磁性录音带和光量子放大器等以测定其薄膜厚度和组成，它也可以用在动态的分析上，连续测定某一体系在它的物理化学作用过程中组成变化的情况。例如，由于相变产生的金属间的扩散，固体从溶液中沉淀的速度，固体在固体中扩散和固体在液体中溶解的速度，溶液混合的速度以及表面腐蚀的速度等等。